반응형 노광장비#Scanner#Stepper1 반도체 장비 - 노광기(Scanner/Stepper) 노광기는 노광공정 과정에서 웨이퍼를 빛에 직접 노출(Exposure)시키는 장비다. 노출하는 방식에 따라 Stepper 방식과 Scanner 방식으로 나뉜다. 노광기가 미세한 패턴을 형성할 수 있음을 의미하는 해상도는 다음과 같은 식(Rayleigh's Formula of Resolution)에 의해 정의된다. 광원의 파장이 짧을수록, 광학계의 개구수(NA)가 클수록 해상도가 높아진다. 또한, 공정상의 변(K1)에 영향을 받는다. ■ 노광 공정의 구성 요소와 관련 서플라이 체인 ■ 파장(𝜆 ) 초기 노광기의 광원은 수은(Hg) 램프다. 수은 가스를 방전시켜 발생하는 빛의 파장 중에 436nm(G-line), 405nm(H-line), 365nm(I-line)을 사용하며 이 빛을 사용하면 0.8um(800.. 2022. 6. 19. 이전 1 다음 반응형