반응형 실리콘 옥시나이트라이드1 반도체 재료 - SiON(Silicon Oxynitride) SiON은 Silicon Oxynitride(실리콘 옥시나이트라이드)의 약자로, 반도체 산업에서 이용되는 재료 중 하나입니다. SiON은 SiO2 (실리콘 디옥사이드)와 비슷한 성질을 가지지만, 일부 산화물이 질소로 대체되어 있습니다. 이로 인해 SiON은 SiO2보다 높은 광학 및 전기적 특성을 가지며, 특히 CMOS 반도체 기술에서 박막 산화물로 많이 사용됩니다. 일반적으로 PECVD(플라즈마 강화 화학 기상 증착)라는 프로세스를 사용하여 증착됩니다. ■ SiON(Silicon Oxynitride) SiON은 높은 유전 상수를 가지고 있어 더 얇은 게이트 유전체를 생산할 수 있고 트랜지스터에서 더 빠른 스위칭 속도를 가능하게 합니다. 화질화규소는 화학 기상 증착, 졸-겔 공정 및 스퍼터링을 비롯한 다.. 2023. 3. 12. 이전 1 다음 반응형