반응형 월덱스1 반도체 부품 - Focus Ring Focus Ring은 건식 식각 공정과정에서 Dry Etcher(또는 Plasma CVD에서) Chamber 내에서 Wafer를 고정하는 역할을 하는 소모성 부품입니다. Focus Ring은 플라즈마에 직접 노출되기 때문에 Wafer와 함께 식각 되어 파티클이 발생할 가능성이 있어 실리콘(SI), 알루미나(Al2O3), Quartz(SiO2) 등 파티클이 발생하더라도 오염에 제한적인 소재만 사용할 수 있습니다. 특히 낸드 96단부터 고출력 플라즈마가 사용되는 Oxide Etcher 위주로 SiC의 채용이 급격하게 증가한 것으로 이는 SiC는 탄화규소와 실리콘 혼합소재를 성장시켜(CVD 증착) 만든 제품으로 실리콘 제품보다 내구성이 높으며, 이는 수요자 입장에서 식각장비 내 Focus Ring 교체 주기를.. 2022. 9. 16. 이전 1 다음 반응형