반응형 웨이퍼#Wafer#Wafer Bonding#SiC Wafer1 반도체 - 웨이퍼(Wafer)란? Wafer(웨이퍼)는 표면에 반도체 소자가 집적되는 핵심소재로, 주로 실리콘 재료의 실리콘 Wafer를 의미한다. 실리콘의 결정 성장 방향에 (111), (100), (110) 등으로 분류할 수 있는데, 이 중 CMOS 기반의 반도체는 (100) 스펙을 사용한다. 화학적, 전기적으로 안정하며, 트랜지스터 집적 이후 전자의 이동도(Mobility)가 높기 때문이다. 또한, Ingot 성장부터 3족 원소를 투입한 P-Type Wafer를 주로 사용한다. ■ Wafer의 종류 CMOS 집적 과정에서 NMOS 형성에 따로 P-Well을 형성하기 위한 Ion Implantation 과정을 하지 않아도 되기 때문이다. 즉, 반도체용 Wafer는 P-type (100)를 주로 사용한다. Wafer는 표면처리 유무에 .. 2022. 6. 16. 이전 1 다음 반응형