반응형 포토마스크#Pelicle1 반도체 부품 - 포토마스크(Photomask) 유리기판 위에 반도체의 미세회로를 형상화한 것입니다. 즉, 투명한 석영기판 상층에 도포된 크롬 박막을 이용해 반도체 집적회로와 LCD 패턴을 실제 크기의 1~5배로 식각해 놓은 것으로 반도체 생산공정에 반드시 필요합니다. ■ 투과형 Photomask 포토마스크는 유리 기판 위에 반도체의 미세회로를 형상화 한 노광 공정용 핵심 부품입니다. 포토마스크의 패턴대로 Wafer의 PR에 새겨지게 됩니다. 포토마스크의 패턴이 새겨지기 전의 상태를 블랭크마스크(Blank Mask)라고 합니다. 블랭크마스크 제조사에서 석영(SiO2) 기판에 크롬(Cr) 등으로 박막을 입히고 PR이 도포된 상태로 IDM/Foundry의 Mask House나 포토마스크 전문 제작사로 공급하는 방식입니다. 반도체의 공정 Layer에 비례해.. 2022. 7. 28. 이전 1 다음 반응형