반응형 CMP 장비1 반도체 장비 - CMP 장비 웨이퍼 구리 도금 장비의 시장규모는 21년 기준 27억 달러로 추산되며 반도체 전체 장비 시장의약 3% 정도로 큰 비중을 차지하는 장비는 아닙니다. ECD 장비와 마찬가지로 공정의 특성상 장비 자체의 정밀함뿐만 아니라, CMP 패드와 슬러리에 대한 공정 의존도가 높기 때문일 것으로 추정됩니다. ■ CMP 장비 메모리 분야에서의 사용 비중이 낮았던 ECD 장비에 비해, CMP 공정의 경우에는 유전막, CVD 된 텅스텐 등 메모리와 Logic 전반의 많은 공정에 적용될 수 있다는 점에서 상대적으로 큰 시장을 형성하고 있습니다. 평균 성장률은 17%로 장비 시장 전체의 성장률(20%)을 하회했으며, 이는 패터닝 장비에 비해 최신 미세 공정에서의 기여도 측면에서 상대적으로 낮았기 때문입니다. 21년은 Found.. 2022. 12. 5. 이전 1 다음 반응형