반응형 PE#EUV PR1 반도체 소재 - EUV PR 노광공정의 광원이 EUV로 바뀌면서 기존의 CAR PR이 한계에 직면하게 되었습니다. 결국 CAR의 이러한 단점을 보완한 Non-CAR의 대표적인 예로 무기물 기반의 MOR(MetalOxide Resist) Resist가 개발되게 되었습니다, MOR의 장점은 유기물 대비 작은 금속 입자 기반으로 입자의 크기가 작아 해상도가 높고, 금속 입자의 특성상 EUV 흡수율이 높으며, 내식 각성이 강해 CAR 보다 얇게 도포할 수 있는 장점이 있습니다. ■ EUV PR 첫째, EUV의 경우 기존 Excimer Laser용 PR의 PAG 반응 메커니즘이 통하지 않는다는 점입니다. EUV는 단어 자체와 파장 영역대는 Extreme UV이지만, 사실상 Soft X-ray에 가깝기 때문에 광자의 에너지가 너무 높습니다. .. 2022. 7. 4. 이전 1 다음 반응형