반응형 SiO2/SiN 박막 프리커서1 반도체 소재 - ALD 프리커서(Precursor) 프리커서란, 전구체라고도 하며 화학반응으로 특정 물질이 되기 전 단계의 용매 상태 물질을 의미합니다. 용매 상태로 한정 지으면 앞서 CVD/PE-CVD에서 다뤘던 반응들에서 사용된 반도체용 특수가스(Silane, WF6 등)와 구분 지을 수 있으나, 사실상 반도체용 특수가스도 결국 중심 원소의 박막 형성을 위한 소재이기 때문에 광의의 프리커서라고 할 수 있습니다. 반도체 화학 반응의 모든 프리커서를 파악하는 것은 사실상 비현실 적이기에 대표적으로 ALD 프리커서는 크게 유전막용 프리커서와 금속 박막용 프리커서로 나눌 수 있습니다. ■ SiO2/SiN 박막 프리커서 3D NAND의 Gate 구조가 미세화 됨에 따라 Charge Trap Layer, Tunneling Oxide, Gap Fill Dielec.. 2022. 11. 9. 이전 1 다음 반응형