반응형 Track 장비#Overlay 장비#Mask Inspection 장비1 반도체 장비 - Track 장비, Overlay 장비, Mask Inspection 장비 Track 장비란, 노광기와 직접 연결되어 노광(Exposure)을 제외한 PR 코팅, Baking, 현상 등 대부분의 과정이 진행되는 장비입니다. Track 장비는 PR 도포 과정에서 회전 속도의 정교한 컨트롤을 통해 PR의 두께와 균일도를 충족시킬 뿐만 아니라, 흘려 내보내는 PR의 소모를 최소화해야 합니다. 또한 노광 전후 Bake 공정과 현상 과정 중에 정교한 기계적 열적 컨트롤이 수반되는 정밀 장비입니다. ■ Track 장비 최신 Track 장비의 Throughput이 300 wph 정도인 점을 고려하면 ArF immersion의 경우 노광기 1대당 Track 장비 1대, EUV의 경우 노광기 2대당 1대 정도의 Track 장비가 필요할 것으로 추정됩니다. 특히 최근에는 EUV 양산 적용에 따라.. 2022. 6. 20. 이전 1 다음 반응형